等離子表面清洗
等離子表面清洗主要依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。
等離子體與材料表面產生的反應主要有兩種：一種是靠等離子做物理反應(physicalreaction)，另一種是靠自由基來做化學反應(chemicalreaction)。
等離子表面清洗與材料表面物理反應機理
等離子體與材料表面產生的物理反應主要是利用離子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著材料表面的離子打掉，由于離子在壓力較低時的平均自由基較輕長，有能量的積累，因而在物理撞擊時，離子的能量越高，越容易產生撞擊，所以若要以物理反應為主時，就必須控制較低的壓力下來進行反應，這樣清洗效果較好。
等離子表面清洗與材料表面化學反應機理
等離子體與材料表面產生的化學反應主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學反應，在化學反應里常用的氣體有氧氣、氫氣、甲烷等，這些氣體在電漿內反應成高活性的自由基，自由基的作用表現在化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用，處于激發狀態的自由基具有較高的能量，易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子同時生成新的自由基，這種反應過程還可能繼續進行下去，最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。在這些情況下，會釋放出大量的結合能，這種能量成為引發新的表面反應推動力，從而引發物體表面上的物質發生化學反應而被去除。
等離子表面清洗與其他清洗方法相比具有獨特的優勢
? １）設置好參數后不需要人工干預，并可以精確控制清洗時間；
? ２）規范的等離子清洗過程不會對產品表面產生損傷，且清洗過程是在真空環境中進行，清洗表面不會被灰塵、氧化等二次污染；
? 3）等離子清洗是使用電能催化物理化學反應為手段，是一種干法清洗方式，它排除了所有濕法清洗帶來的危險，且無廢液產生，有利于環保和人員安全,；
? 4）等離子清洗機清洗效率高，應用范圍廣，對清洗樣品，沒有任何外觀尺寸、材質等要求；
? 5）在完成清洗去污的同時,還能改變材料本身的表面性能,如提高表面的潤濕性能,表面附著力等；
深圳市南山區港深創新園G棟523-524
張經理17304403275
