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半導體封裝等離子清洗機應用
在IC封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會降低產品質量,如果在封裝工藝過程中的裝片前、引線鍵合前及塑封固化前進行等離子清洗,則可有效去除這些污染物。
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